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爱德华螺杆真空泵是一种采用一对螺旋轴进行抽吸的新型吸气机，它具有长寿命，低能耗，无油污染等特点，被广泛用于制药、化工、半导体等行业。

爱德华螺杆真空泵的技术原理：

该设备把两个经过严格动平衡校正、用轴承做支撑的螺杆，安装在泵腔内，并在两个螺杆之间留下合理的空隙，设备运转时，两个转子在泵腔内作同步高速反向旋转，由此来产生吸气和排气。具体的工作过程分为三个:

1.吸气过程

阳转子按逆时针方向旋转，阴螺杆按顺时针方向旋转，随着转子开始转动，由于齿的-端逐渐脱离啮合而形成了齿间容积，这个齿间容积的扩大，在其内部形成了一定的真空,而此齿间容积又仅与吸气口连通，因此气体便在压差作用下来流入其中。

2.压缩过程

转子端面是排气端面，在这里，阳转子沿顺时针方向旋转，阴转于沿逆时针方向旋转,随着转子的旋转，齿间容积由于转子齿的啮合而不断减小。被密封在齿间容积中的气体被占据体积也随之减小，导致压力升高，从而实现气体的压缩过程。

3.排气过程

排气过程，齿间容积与排气孔口连通后，即开始排气过程。随着齿间容积的不断缩小，具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出。